氦质谱检漏仪

因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用氦质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用氦质谱检漏仪抽空后喷氦查找漏点（泄漏指标异常处）。氦质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到氦质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层

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氦质谱检漏仪逆扩散原理

电子元器件进密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率

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氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，